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液化三氟化氮有什么危害?

來(lái)源:www.xishoupen.net 發(fā)布時(shí)間:2022年12月10日
  液化三氟化氮化學(xué)式NF?,在常溫下是一種無(wú)色、無(wú)臭、性質(zhì)穩定的氣體,是一種強氧化劑。液化三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時(shí)裂解為活性氟離子,這些氟離子對硅和鎢化合物,高純液化三氟化氮具有好的蝕刻速率和選擇性(對氧化硅和硅),它在蝕刻時(shí),在蝕刻物表面不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時(shí)在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。
  液化三氟化氮
  液化三氟化氮是低毒性物質(zhì),但是它能強烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜,腐蝕組織。吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉。長(cháng)期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼,使牙齒生黃斑,骨骼成畸形。具有強氧化性。與還原劑能發(fā)生強烈反應,引起燃燒爆炸。與易燃物(如苯)和有機物(如糖、纖維素等)接觸會(huì )發(fā)生劇烈反應,甚至引起燃燒。受高熱發(fā)生劇烈分解,甚至發(fā)生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小時(shí)末見(jiàn)死亡,但出現高鐵血紅蛋白血癥,當吸入10000ppm·l小時(shí)有死亡,在2500ppm時(shí)吸入毒后4小時(shí)死亡。高容許濃度:10ppm(29mg/m3)。
  
  如何才能不超過(guò)這個(gè)10ppm濃度限制呢?就需要用到液化三氟化氮檢測儀,使用液化三氟化氮氣體濃度檢測儀可以檢測其濃度,固定式液化三氟化氮檢測儀安裝于氣體易泄露的地點(diǎn),其核心部件為氣體傳感器,當液化三氟化氮泄露后揮發(fā)出來(lái)的氣體傳感器接觸反應,固定式液化三氟化氮監測儀便會(huì )啟動(dòng)自身的報警功能聲光報警,警醒工作人員。
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